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熱風(fēng)循環(huán)烘箱在光刻中的應(yīng)用
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1。在硅片上涂覆光刻膠{+*/}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進(jìn)行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時(shí)間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。 首先，采用真空法從膠粘機(jī)上的硅天花板上抽油，將一定量的粘性光刻膠涂在幽靈表面，然后時(shí)間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得一定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預(yù)干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是一種惰性氣體，干燥時(shí)間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。 3，掩碼對(duì)齊 由于集成電路的制造過程是一層的過程，所以每個(gè)層的位置不能移動(dòng)。熱風(fēng)循環(huán)烘箱一般有加熱管，有循環(huán)風(fēng)機(jī)的烘箱都可稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，因?yàn)椴还芎嫦涫裁唇Y(jié)構(gòu)，風(fēng)向水平還是垂直，歸根到底都是熱風(fēng)在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風(fēng)循環(huán)烘箱，如電熱鼓風(fēng)烘箱，對(duì)開門高溫滅菌烘箱等。掩模和晶片可以對(duì)齊在晶片上。 4，在硅片上光敏膠的掩模上曝光 高壓汞燈G線(436 Nm)或我們一行(波長365 nm)輻照，光刻膠的光刻膠與掩模圖形的光敏圖案相同！ 5，將硅片浸沒在特定顯影液中，溶解外露的部分，再將圖像復(fù)制到光刻膠上，顯影劑對(duì)顯影劑進(jìn)行顯影，烘干，使殘留的有機(jī)溶液光刻膠完全蒸發(fā)，形成的顯影劑。 混合機(jī)的介紹和常見故障及維修
混合機(jī)廣義上分為粉粒體混合和流體混合設(shè)備，狹義上通常指用于粉粒體混合的機(jī)械。流體混合設(shè)備通常稱為攪拌機(jī)、分散機(jī)、乳化機(jī)等。
粉粒體混合一般分為三種混合機(jī)理：
擴(kuò)散混合、對(duì)流混合和剪落地閃蒸干燥設(shè)備適合家庭和工作場(chǎng)所的條件，具有16×18干燥區(qū)域的2500瓦特干燥器，鋼粉末涂層40毫米x 40毫米箱管底座與4個(gè)腳輪易于移動(dòng)。交叉設(shè)計(jì)允許加熱頭旋轉(zhuǎn)360度而不會(huì)傾倒。它可以將頭部固定在不同的高度。它將在10秒內(nèi)干燥塑料溶膠墨水，并在60秒內(nèi)完全固化�！ ≈饕卣鳎何覀兊姆序v干燥機(jī)維修部致力于為客戶提供^的服務(wù)，盡可能提高所有干燥機(jī)的可用性和可靠性–按專業(yè)的方法加上高度的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，具備熟練的專業(yè)工程師的先決條件，^的服務(wù)�！ ∥覀冇蟹序v干燥機(jī)維修工程師從事任何安裝、調(diào)試、維修、服務(wù)、翻新和優(yōu)化過程涉及沸騰干燥機(jī)產(chǎn)品和過程。 我們的客戶服 沸騰干燥是液體形成和干燥工業(yè)中使用^廣泛的技術(shù)，它^適合從溶液，乳液，懸浮液和糊狀液體原料中生產(chǎn)粉狀和顆粒狀固體產(chǎn)品，因此，當(dāng)粒度分布，殘余水含量，積聚密度和顆粒形狀必須符合^標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，沸騰干燥機(jī)是理想的過程。 性能特點(diǎn) 減小顆粒的尺寸可以提高性能，如光吸收，變化相比，在正常范圍內(nèi)，這是他們的屬性，可以使他們適合于高效和改進(jìn)的微型電子，傳感器，醫(yī)藥，電池，催化劑和第三代太陽能電池的發(fā)展。但是一些需要克服的挑戰(zhàn)，在納米粒子為基礎(chǔ)的設(shè)備的發(fā)展。 用流化床干燥機(jī)生產(chǎn)納米顆粒的一
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